正值畢業(yè)季，復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院教授張衛(wèi)每天都在花時(shí)間審閱、修改學(xué)生論文。5月1日當(dāng)天，他早上7點(diǎn)多就到辦公室，查找文獻(xiàn)、修改論文。他說：“如果學(xué)生做得不好，那一定是我的原因。”

在校園值守崗位一月間，張衛(wèi)的每一天都很平常，從住所到辦公室兩點(diǎn)一線。大部分時(shí)間，他坐在辦公桌前，敲著電腦鍵盤，一坐就是幾個(gè)小時(shí)。作為微電子學(xué)院院長(zhǎng)，他也擔(dān)起疫情防控的一方責(zé)任。

日前，張衛(wèi)榮獲全國五一勞動(dòng)獎(jiǎng)?wù)隆５弥獦s獲獎(jiǎng)?wù)聲r(shí)，張衛(wèi)正在辦公室修改學(xué)生論文。他說：“榮譽(yù)只代表過去，我得繼續(xù)努力工作，每天都有很多事情要做。”

搭建第一套原子層沉積技術(shù)的實(shí)驗(yàn)研究平臺(tái)

1995年6月，張衛(wèi)博士畢業(yè)后到復(fù)旦大學(xué)做博士后，合作導(dǎo)師是電子工程系的王季陶教授。在這期間，他瞄準(zhǔn)本領(lǐng)域的國際學(xué)術(shù)前沿，開展了先進(jìn)銅互連技術(shù)和低介電常數(shù)互連介質(zhì)等研究，并取得了很好的學(xué)術(shù)成績(jī)。博士后出站后，張衛(wèi)留校工作。

2002年5月，他結(jié)束德國一年半的洪堡學(xué)者之行，回到復(fù)旦。在校方支持下，他在國內(nèi)率先開展了原子層沉積（ALD）高k柵介質(zhì)的研究。2003年，他搭建了國內(nèi)第一臺(tái)原子層沉積實(shí)驗(yàn)設(shè)備。隨后，他組織舉辦了第一屆中國原子層沉積技術(shù)學(xué)術(shù)會(huì)議，迅速擴(kuò)大了復(fù)旦大學(xué)在集成電路前沿領(lǐng)域的國際影響力。

如今，中國原子層沉積學(xué)術(shù)會(huì)議（CALD）已舉辦9屆。張衛(wèi)團(tuán)隊(duì)在原子層沉積領(lǐng)域的研究也取得了豐碩成果，發(fā)表相關(guān)學(xué)術(shù)論文120多篇。

“做科研就是要鍥而不舍”

28年，張衛(wèi)從一個(gè)初出茅廬的科研人員，成長(zhǎng)為國內(nèi)集成電路領(lǐng)域的領(lǐng)軍人物。這一切的背后，離不開“死磕”。在他看來，“做科研，是我的工作，也是我長(zhǎng)久的堅(jiān)守。”

微電子學(xué)院青年教師孫清清，2004年還是一名大四學(xué)生，當(dāng)時(shí)他在張衛(wèi)課題組做畢業(yè)設(shè)計(jì)。每次跟來自美國的工程師一起安裝設(shè)備時(shí)，他發(fā)現(xiàn)旁邊總有一個(gè)人，那就是張衛(wèi)。

“幾天接觸下來，我感覺張老師是一個(gè)非常嚴(yán)謹(jǐn)?shù)娜?，能從他身上學(xué)到東西?！北究飘厴I(yè)后孫清清跟著張衛(wèi)攻讀研究生。如今，孫清清也已成長(zhǎng)為一名學(xué)科帶頭人。

集成電路領(lǐng)域的研究需要產(chǎn)學(xué)研深度合作。孫清清回憶，“張老師經(jīng)常帶著我們跟企業(yè)去談，有時(shí)候每周都要飛過去?！?/p>

“是張老師的堅(jiān)持打動(dòng)了對(duì)方，最終合作得以成功?！睂O清清說，如果中間不堅(jiān)持，事情肯定就“泡湯”了。

幾十年如一日，張衛(wèi)在科研路上孜孜不倦。近年來，他牽頭承擔(dān)了8項(xiàng)國家和上海市重大、重點(diǎn)科研項(xiàng)目，在本領(lǐng)域國內(nèi)外學(xué)術(shù)期刊及會(huì)議上發(fā)表論文300多篇，申請(qǐng)發(fā)明專利180多項(xiàng)。

離開科研、教學(xué)，張衛(wèi)的生活很簡(jiǎn)單，平常他最喜歡的活動(dòng)就是跟家人一起打乒乓球或羽毛球。長(zhǎng)期以來，他保持良好作息習(xí)慣，每天晚上11點(diǎn)之前睡覺，早上6點(diǎn)鐘起床，以充沛的精力投入到新的一天。

要做有價(jià)值的人生導(dǎo)師

一位復(fù)旦大學(xué)微電子專業(yè)20年前畢業(yè)的學(xué)生，現(xiàn)在已是企業(yè)高管，依然對(duì)張老師激情講授的《半導(dǎo)體材料》課程印象深刻。

在張衛(wèi)看來，作為一名老師，首要任務(wù)是教書育人，為行業(yè)培養(yǎng)高質(zhì)量的人才。

“大學(xué)教育對(duì)一個(gè)學(xué)生未來職業(yè)規(guī)劃和選擇非常重要。作為老師，我想不僅僅是做科研，更是作為人生導(dǎo)師。不僅傳授知識(shí)，更要活用我過去幾十年的人生閱歷，引導(dǎo)他們成長(zhǎng)?！?/p>

多年來，他培養(yǎng)了一大批集成電路領(lǐng)域的優(yōu)秀人才，其中5人獲得國家高層次人才等稱號(hào)，40多人擔(dān)任我國集成電路頭部企業(yè)高管和核心技術(shù)人員，成長(zhǎng)為我國集成電路領(lǐng)域的領(lǐng)軍人物。

這兩年，張衛(wèi)還為高中生先修課堂上課，講授“改變世界的芯片技術(shù)”。他說，芯片是現(xiàn)代工業(yè)的糧食，是我們國家高科技強(qiáng)國建設(shè)的重要一環(huán)，希望通過先修課堂，讓中學(xué)生對(duì)研究有了解，激發(fā)他們對(duì)科研世界的思考。

受疫情影響，這段時(shí)間微電子學(xué)院實(shí)驗(yàn)室暫時(shí)“停擺”。作為導(dǎo)師，為了緩解學(xué)生的科研焦慮，張衛(wèi)做了一些調(diào)整，讓科研不間斷，包括布置閱讀新的文獻(xiàn)、總結(jié)前期實(shí)驗(yàn)經(jīng)驗(yàn)、討論進(jìn)一步完善實(shí)驗(yàn)計(jì)劃……做實(shí)做足前期功課，等待條件允許時(shí)快速投入、推進(jìn)實(shí)驗(yàn)。